在金屬材料化學(xué)分析發(fā)展史中，電感耦合等離子體光譜法和質(zhì)譜法在近幾十年得到廣泛應(yīng)用，是在物理學(xué)研究到原子核階段以后相繼出現(xiàn)的。

1.電感耦合等離子原子發(fā)射光譜儀（ICP）是一種新型的原子發(fā)射光譜法，工作原理為待測物質(zhì)被環(huán)狀高溫等離子體光源加熱至6000–8000K，待測物質(zhì)原子產(chǎn)生電子躍遷，從而輻射出特征譜線進行元素含量測定。ICP根據(jù)進樣系統(tǒng)的不同又分為固體進樣、液體進樣和氣體進樣三類。ICP要比直讀光譜儀器的檢出限更低，靈敏度高。缺點：對進樣系統(tǒng)要求非常嚴(yán)格，無法分析部分難溶和非金屬元素。溶液進樣系統(tǒng)要將試樣做成溶液樣品，此過程要用酸堿溶樣，用時較長。

2.電感耦合等離子體質(zhì)譜法是在電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種較靈敏的元素分析方法。相比于電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀，增加了一個四極質(zhì)譜儀，質(zhì)譜儀分離不同質(zhì)荷比的激發(fā)離子，最后測量各種離子譜峰強度的一種分析方法。

電感耦合等離子體質(zhì)譜儀主要用于測定金屬材料中的微量元素。優(yōu)點為操作簡單、測試周期短、靈敏度高。缺點實際檢測成本高制約其廣泛使用，目前主要用于地質(zhì)學(xué)中金屬礦石微量、痕量和超痕量的金屬元素測定。